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一氧化碳流量計氣體配比器,一氧化碳(carbon monoxide, CO)純品為無色、無臭、無刺激性的氣體。相對分子質(zhì)量為28.01,密度1.25g/l,冰點為-205.1℃,沸點-191.5℃。在水中的溶解度甚低,極難溶于水。與空氣混合爆炸極限為12.5%~74.2%。一氧化碳進入人體之后極易與血液中的血紅蛋白結(jié)合,產(chǎn)生碳氧血紅蛋白,進而使血紅蛋白不能與氧氣結(jié)合,使人缺氧,嚴重時死亡。
DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器 DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是針對半導體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器,用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術和高精度壓電閥控制技術使產(chǎn)品具有零漂小,精度高,響應速度快,壓力不敏感的特點,產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,金屬表面狀況符合SEMI標準的要求。
CS200質(zhì)量流量計氣體配比器,CS200采用*傳感器和溫度補償技術,因此產(chǎn)品精度可以達到設定值1%以內(nèi),并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應不同的環(huán)境溫度。同時,產(chǎn)品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加岀色。全量程范圍內(nèi),CS200C產(chǎn)品最快可在800ms以內(nèi)達到設定流量,響應時間將使用過程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差最小化,所需流量更加精準。
D07-19B質(zhì)量流量計氣體配比器 D07-19是熱式質(zhì)量流量計,質(zhì)量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制,除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量,質(zhì)量流量計(MFM)可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。D07-19產(chǎn)品是七星流量計研發(fā)精度高、響應時間快的模擬產(chǎn)品。